печь химического осаждения из газовой фазы
печь химического осаждения из газовой фазы
Основные характеристики:
Использование печи для осаждения из газовой фазы: Эта встроенная печь для графитации химическим осаждением из газовой фазы может использоваться для химического осаждения из газовой фазы композиционных материалов с использованием неуглеродистого газа (такого как C3H8 и т.д.) в качестве источника углерода, например, для CVD-обработки, CVI-обработки C/C-композиционных материалов, SiC-композиционных материалов, поверхностной карбонизации графита деталей и производство графена.
Назначение печи для осаждения из газовой фазы:
Эта встроенная печь для графитации химическим осаждением из паровой фазы может использоваться для химического осаждения из паровой фазы композиционных материалов с использованием неуглеродистого газа (такого как C3H8 и т.д.) в качестве источника углерода, например, для CVD-обработки C/C-композиционных материалов, SiC-композиционных материалов, поверхностной карбонизации графитовых деталей и производства графена.
Особенности печи для осаждения из газовой фазы:
Многофункциональная высокотемпературная конструкция позволяет проводить химическое осаждение из газовой фазы и графитизацию одновременно.
Рабочая температура достигает 2600 градусов Цельсия, и прибор может работать стабильно и надежно в течение длительного времени.
Система автоматического преобразования измерения температуры в сочетании с термопарами и инфракрасными термометрами позволяет отображать и контролировать весь диапазон температур.
Система управления преобразованием частоты индукционного нагрева, использующая IGBT в качестве основного источника питания, делает оборудование энергосберегающим, с малыми гармоническими составляющими и без помех внешнему оборудованию.
Точное отображение расхода и контроль подачи газа на входе и выходе обеспечивают стабильность продукта.
Используется камера осаждения специальной конструкции, которая обладает хорошей герметизирующей способностью и высокой степенью защиты от загрязнения;
Используется многоканальный газоотвод для осаждения, поле потока равномерное, отсутствует мертвый угол осаждения, а эффект осаждения хороший;
Специальная система фильтрации позволяет эффективно удалять смолу, твердую пыль, органический газ и т.д., образующиеся в процессе осаждения углерода;
Технические параметры печи для осаждения из газовой фазы:
